株式会社　量子技研工業

■ 10-9乗Torr対応超高真空CCD検出器 ■

　CCD素子の選択によりX線からNIR領域まで対応可能です。
　CCD検出器はチャンバーの形状に合せて設計致します。性能はFe55の5.8KeVの特性X線を用いてテストして納入致します。CCD素子の使い方に応じてゲインや読み出し速度などの設定を最適化する事が可能です。
　右の写真はステージ上をリニアに駆動し、銅のワイヤーでCCD素子を冷却しています。
　液体窒素が使えない場合、スターリングクーラー等冷凍機使用の検出器として開発します。
　真空度は、タンデム運転のターボポンプにより-10乗Torrオーダーまでの経験があります。

Total

5．9×10-9Torr

分圧　H2

1．1×10-9

H2O

4．5×10-9

0．2×10-9

■サンプルデータ

・EUV領域のイメージデータ

シュバルツシルト光学系の調整画像
データは産業技術総合研究所さんのご提供です。

10-9乗Torr環境でのデータ

データーは理化学研究所さんのご提供です。